招標公告

1. 招標條件

本招標項目二氧化硅淀積爐 該項目已具備招標條件，現對二氧化硅淀積爐進行國內公開招標。

2. 項目概況與招標范圍

2.1 招標編號：ZKX20240429A045

2.2 招標項目名稱：二氧化硅淀積爐。

2.3 數量：1臺。

2.4 主要功能要求：本次購買的二氧化硅淀積爐常用于ONO結構中的SiO2介質層。其原理是在爐管內高溫下（720℃-900℃），二氯硅烷(DCS)和笑氣(N2O)進行反應生成SiO2薄膜。必須是8寸全新支持SMIF功能及EAP通訊的國產設備

2.5 交貨

2.6 交貨期：合同生效后6個月。

3. 投標人資格要求

3.1投標人須為具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內注冊的法人或其他組織，具備有效的營業執照或事業單位法人證書或其它營業登記證書。

3.2設備業績要求：本次投標設備二氧化硅淀積爐須是八寸線的成熟設備，且具有成功應用案例，須提供至少一臺2020年1月1日至今本次投標設備的帶有技術協議或技術指標的銷售合同及驗收證明材料復印件，合同的內容需體現合同首頁、設備名稱、規格型號、制造商名稱（必須是本次所投設備的制造商）、技術協議或主要技術指標、合同簽訂時間、甲乙雙方簽字或蓋章等內容，還需提供業績設備是使用于八寸線的證明材料，以及采購方
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編輯：dljcz