Die-to-Wafer混合鍵合機(jī)項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。資金情況已落實(shí)。中科信工程咨詢(北京) (招標(biāo)代理機(jī)構(gòu))受中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所(招標(biāo)人)的委托,對(duì)該項(xiàng)目進(jìn)行國(guó)際公開招標(biāo)采購(gòu)。
1. 招標(biāo)范圍
1.1 貨物名稱:Die-to-Wafer混合鍵合機(jī)
1.2 招標(biāo)編號(hào):0779-25400341A061
1.3 項(xiàng)目概況:
設(shè)備基本組成:
Die-to-Wafer混合鍵合機(jī)用于實(shí)現(xiàn)量子傳感、硅光、MEMS等芯片的異質(zhì)集成,實(shí)現(xiàn)芯片和Wafer混合鍵合。設(shè)備包括Wafer(晶圓)和Die(芯片)的獨(dú)立上料和傳輸、等離子活化模塊、Wafer 清洗模塊、Tape frame 清洗模塊、Aligner 規(guī)正模塊、Wafer 翻轉(zhuǎn)模塊、C2W對(duì)準(zhǔn)模塊、鍵合模塊、檢測(cè)模塊及相應(yīng)的自動(dòng)傳輸系統(tǒng)、控制系統(tǒng),各模塊之間自動(dòng)傳輸物料。
該設(shè)備在室溫下自動(dòng)將晶圓片和芯片的鍵合面進(jìn)行清洗和等離子體表面活化,在經(jīng)過(guò)高精度(亞微米)對(duì)準(zhǔn)之后貼在一起,在大氣或低真空環(huán)境下經(jīng)過(guò)數(shù)小時(shí)的退火處理,形成介質(zhì)層的Si-O-Si 鍵和導(dǎo)電層的Cu-Cu 擴(kuò)散連接,完成高精度混合鍵合,并實(shí)現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)偏差檢測(cè)。
設(shè)備主要指標(biāo):
(1) 可實(shí)現(xiàn)芯片到晶圓的混合鍵合;
(2) 對(duì)準(zhǔn)精度:≤200nm;貼片精度:≤500nm;
(3) 支持芯片大小范圍:1mm~32mm。
更多技術(shù)指標(biāo)詳見(jiàn)第八章。
1.4 數(shù)量:1套。
1.5 交貨期:合同簽訂后8個(gè)月內(nèi)交貨。
1.6 項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng):中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所指定地點(diǎn)。
2. 對(duì)投標(biāo)人的資格要求
2.1 投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織,具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力。
2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo),代理商必須獲得制造商的合法授權(quán),提供制造商授權(quán)書。授權(quán)書包括制造商直接開具的;或制造商的獨(dú)資公司開具的(同時(shí)須提供制造商與獨(dú)資子公司的關(guān)系說(shuō)明,并由雙方簽字或者蓋章)。
2.3本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
2.4 投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)
3. 招標(biāo)文件獲取
3.1 潛在投標(biāo)人將付款憑證(形式不限)和發(fā)票上傳交易平臺(tái),經(jīng)招標(biāo)人(代理機(jī)構(gòu))確認(rèn)后,才能獲得招標(biāo)文件的下載權(quán)限。
3.3 投標(biāo)人必須在中航工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)注冊(cè),辦理CA數(shù)字證書與電子簽章,否則無(wú)法投標(biāo)。(詳見(jiàn)中航工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)相關(guān)說(shuō)明)。
4.
未在中國(guó)電力招標(biāo)采購(gòu)網(wǎng)(www.dlztb.com)上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先點(diǎn)擊注冊(cè)。登錄成功后的在 招標(biāo)會(huì)員 區(qū)根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說(shuō)明獲取招標(biāo)文件!
咨詢電話:010-51957458
手 機(jī):18811547188
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來(lái)源:中國(guó)電力招標(biāo)采購(gòu)網(wǎng)
備注:欲購(gòu)買招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人,注冊(cè)網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)及商務(wù)信息服務(wù)費(fèi)后,查看項(xiàng)目業(yè)主,招標(biāo)公告并下載資格預(yù)審范圍,資質(zhì)要求,
招標(biāo)清單,報(bào)名申請(qǐng)表等。為保證您能夠順利投標(biāo),具體要求及購(gòu)買標(biāo)書操作流程按會(huì)員區(qū)招標(biāo)信息詳細(xì)內(nèi)容為準(zhǔn)。
編輯:ebid.eavic


