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招標項目編號：0834-2441SH24A536
項目名稱：中國科學院上海光學精密機械研究所掩模缺陷檢測設備
項目名稱（英文）：Mask Defect Detection Equipment
招標機構：上海中招招標
招標方式：公開招標
招標結果：重新招標
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