微孔光刻系統（重新招標）-招標公告

微孔光刻系統（重新招標）項目已具備招標條件。資金來源國撥資金。 （招標代理機構）受中國電子科技集團公司第二十九研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

1. 招標范圍

1.1 貨物

1.2 招標編號：0618-224TC229608Y

1.3 技術規格：微孔光刻系統主要用于玻璃微通孔及互連穿孔的加工，具備兩個功能單元：玻璃光敏改性曝光單元和微孔雙面互連曝光單元。玻璃光敏改性曝光單元，通過玻璃光敏改性曝光單元，采用紫外光對光敏玻璃進行處理，實現玻璃材料局部改性，再通過高溫晶化處理，使加工區域同未加工區域在腐蝕過程中具備顯著的腐蝕選擇比，進而實現高深徑比微孔的高精度制備；微孔雙面互連曝光單元對微穿孔的焊盤雙面進行高精度曝光，形成精密互連結構，實現微穿孔上下電路的垂直互連。

1.4 數量：1套。

1.5 交貨期：供貨周期不超過16個月，自合同簽訂之日開始計算。

1.6 項目現場：業主指定地點（四川省成都市）。

1.7 報價要求：國產設備要求報價為設備到達業主安裝地點的到貨價格；進口設備要求報價為CIP成都價。

2. 對投標人的資格要求

2.1 法人要求：投標人提供有效的營業執照或事業單位法人證書（境內投標人）；投標人提供有效的營業登記等許可經營的證明文件（境外投標人）。

2.2 業績要求：投標人提供2019年01月01日至今，至少有一個與投標同型號（支持雙面對準，對位精度≤0.5μm）的銷售案例（銷售方不限），提供附有技術條款或技術協議的合同復印件，合同內容應能體現甲乙雙方蓋章（或簽字）頁、合同簽訂時間、標的物名稱、技術要求等主要內容。未按上述要求提供的業績證明均不予認可。

2.3 資信證明：投標人

與中華人民共和國有正常貿易往來的國家或地區的投標人提供由其

2.4 其他要求：國產設備要求由生產廠家自行投標；進口設備可以由生產廠家自行投標，也可以由生產廠家授權代理商進行投標。若由代理商進行投標，則代理商在投標書中必須提供生產廠家的授權證明。

2.5本次招標不接受聯合體投標。

2.6投標人必須向招標代理機構

3. 招標文件獲取

3.1 凡有意參加投標者，請于2022年 11月 26 日至2022年 12 月 02 日，每日上午9時至17時(北京時間，下同)，

八. 匯款方式

招標代理機構

招標代理機構

賬號(人民幣):0200049619200362296

賬號(美元):778350014863

其他:SWIFT CODE：BKCHCNBJ

2022年11月 25 日