等離子體多晶硅刻蝕機國際招標公告(1)

對下列產(chǎn)品及服務進行國際公開競爭性招標，于2021-04-23在 公告。本次招標采用傳統(tǒng)招標方式，現(xiàn)邀請合格投標人參加投標。
1、招標條件
項目概況:中芯集成電路制造（紹興） 計劃為中芯紹興特種晶圓工藝生產(chǎn)線購買一批設備
資金到位或資金來源落實情況:現(xiàn)招標人資金已到位
項目已具備招標條件的說明:具備了招標條件
2、招標內(nèi)容
招標項目編號:0613-214522151668/03
招標項目名稱:等離子體多晶硅刻蝕機
項目實施地點:中國浙江省
招標產(chǎn)品列表(主要設備):

序號	產(chǎn)品名稱	數(shù)量	簡要技術(shù)規(guī)格	備注
1	化學機械研磨	1	實現(xiàn)晶圓表面平坦化	/
2	干法去膠機	1	1.Strip Rate:56000+/-3000A/min 2.Strip Rate Uni : <8% 3.WPH>120P/H	/
3	等離子體多晶硅刻蝕機	1	1.實現(xiàn)多晶硅刻蝕要求etch rate >1500A/min 2.主刻蝕比氧化層選擇比大于150:1 3.Chamber 與chamber 差異小于5%	/

3、投標人資格要求
投標人應具備的資格或業(yè)績:1）具有獨立的法人資格，相應的經(jīng)營范圍。投標方應具有正規(guī)注冊的辦事處、維修站及零備件保稅庫。在中國境內(nèi)應有專門負責的經(jīng)驗豐富的維修工程師和專門的技術(shù)應用支持工程師咨詢電話18811547188。 2）投標人提供的設備需要在業(yè)界有安裝使用的經(jīng)驗 。
是否接受聯(lián)合體投標:不接受
未領(lǐng)購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領(lǐng)購開始時間:2021-04-23
招標文件領(lǐng)購結(jié)束時間:2021-04-29
是否在線售賣標書:否

7、聯(lián)系方式
招標人:中芯集成電路制造（紹興）
未曾在中國電力招標采購網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據(jù)招標公告的相說明下載投標文件！

項目 聯(lián)系人：李楊  
咨詢電話：010-51957458 
傳真：010-51957412 
手機：13683233285 
QQ:1211306049 
微信：Li13683233285 郵箱：1211306049@qq.com

備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務費后，查看項目業(yè)主，招標公告，中標公示等，并下載資格預審范圍，資質(zhì)要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內(nèi)容為準，以招標業(yè)主的解答為準本。

編輯：chinabidding.co